TEMPERATURE SENSOR DEVICE IN CLEAN ROOM
PURPOSE: A clean room temperature sensor apparatus is provided to achieve improved temperature response characteristics, while allowing maintenance to be easily performed. CONSTITUTION: A clean room temperature sensor apparatus, comprises a housing(30); a cover pipe(40) protruded from the outer peri...
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Hauptverfasser: | , , , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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