TEMPERATURE SENSOR DEVICE IN CLEAN ROOM

PURPOSE: A clean room temperature sensor apparatus is provided to achieve improved temperature response characteristics, while allowing maintenance to be easily performed. CONSTITUTION: A clean room temperature sensor apparatus, comprises a housing(30); a cover pipe(40) protruded from the outer periphery of the housing, and which has an open end; a lead wire protection pipe(50) disposed within the cover pipe, and which has an outer diameter smaller than the inner diameter of the cover pipe, and which is protruded from the outer periphery of the housing; and a temperature sensor(60) disposed within the cover pipe and coupled to the end of the protection pipe in such a manner that the end of the temperature sensor is attachable/separatable to/from the end of the protection pipe. A plurality of lead wires(66) led from the end of the temperature sensor, are extended into the housing through the interior of the lead wire protection pipe. The temperature sensor is constituted by a rod having a temperature sensor element exposed at an end of the rod. 본 발명은 온도센서장치에 관한 것으로서, 특히 장치는 하우징과, 하우징 외주면으로부터 길게 돌출되고, 종단이 오픈된 덮개관과, 덮개관 내측에 위치하고 상기 덮개관의 내경 보다 작은 외경을 가지며, 상기 하우징 외주면으로부터 길게 돌출된 리드선 보호관과, 덮개관 내측에서 상기 리드선 보호관의 종단에 고정단이 착탈식으로 결합되고, 상기 고정단으로부터 인출된 복수의 리드선들이 상기 리드선 보호관 내부를 통하여 상기 하우징 내로 연장되고, 자유단에 온도센서 엘리먼트가 노출된 봉형상의 온도센서를 포함한다. 따라서, 본 발명에서는 오픈된 덮개관 내측에 온도센서 엘리먼트가 대기 중에 노출된 상태로 존재하게 되므로, 온도센서 엘리먼트가 클린룸 내의 대기 온도의 변화에 대하여 민감하게 검출함으로써 클린룸 온도제어장치의 온도응답특성을 향상시킬 수 있다.