Electron gun applying cold cathode

PURPOSE: An electron gun employing a cold cathode is provided to improve insulating characteristic between a cathode and a gate electrode to avoid short due to micro pin holes in an insulating layer between the cathode and the gate electrode. CONSTITUTION: An electron gun comprises a substrate(41) o...

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Hauptverfasser: HAN, DONG HUI, AHN, JI HUN, CHOI, JONG SEO, LEE, HYEOK BOK
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:PURPOSE: An electron gun employing a cold cathode is provided to improve insulating characteristic between a cathode and a gate electrode to avoid short due to micro pin holes in an insulating layer between the cathode and the gate electrode. CONSTITUTION: An electron gun comprises a substrate(41) of glass or wafer, a cathode(42) of silver paste on the substrate(41), a first insulating layer(43), and a second insulating layer(44). The first insulating layer(43) is formed on the cathode(42) with SiO, SiO2, Si3N4 or BN. The thickness of the first insulating layer(43) is 500nm to 2 μm. The first insulating layer(43) has cavities(47) opening the cathode(42). Electron emitting sources(46) are formed on the cathode(42) through the cavities(47). The second insulating layer(44) is formed on the first insulating layer(43) with ceramic material such as oxide of Pb, Si, B or Al. Gate electrode(45) is formed on the second insulating layer(44) with metal grid. 본 발명은 냉음극을 채용한 전자총에 관한 것으로서, 기판과, 상기 기판 상에 형성되는 음극과, 다수개의 캐비티가 형성된 절연층과, 상기 캐비티에 해당되는 음극의 상부에 형성되는 전자방출원 및 상기 절연층의 상부에 형성되는 게이트전극을 포함하며, 상기 절연층은 상기 음극과 게이트 전극과의 단락을 방지하기 위한 제 1 절연층과, 옥사이드 형태의 세라믹 물질로 이루어진 제 2 절연층을 포함하는 것을 특징으로 하는 냉음극을 채용한 전자총을 제공한다. 본 발명에 따른 냉음극을 채용한 전자총을 이용하게 되면 절연층의 절연 특성 약화로 발생되는 음극과 게이트전극간의 단락 현상을 방지할 수 있어, 단락 현상없이 전자총을 장시간 사용할 수 있는 잇점이 있다.