A panel of Organic Light Emitting Display device and the method for manufacturing the same

PURPOSE: A method for manufacturing an organic light emitting device panel is provided to improve the reproducibility of the organic light emitting device by employing a structure of an insulating barrier, a pattern of an electron injection electrode, and a protection layer for stopping the degradation of an organic layer. CONSTITUTION: A hole injection electrode(3) is formed on a substrate(1). An insulating layer(5) for arranging a pixel is formed on the hole injection electrode(3). An insulating barrier(7) for electrically insulating an electron injection electrode(11) is formed on the insulating layer(5). Then, an organic layer(9) for emitting light is formed. The electron injection electrode(11) is formed on the organic layer(9). A photosensitive material(13) for use in the photolithography is formed on the electron injection electrode(11). After patterning the photosensitive material(13) and the electron injection electrode(11), an insulating layer(15) is formed the patterned result. A metallic layer or an insulating layer(17) having a good moisture proofing is formed on the insulating layer(15). 본 발명은 유기 전계 발광 소자 판넬의 제작 방법 및 판넬에 관한 것으로, 기판(1) 위에 정공 주입 전극(3)을 형성하는 단계, 상기 정공 주입 전극(3) 위에 화소부(19)를 배치하기 위한 절연막(5)을 형성하는 단계, 상기 절연막(5) 위에 전자 주입 전극(11)의 전기 절연을 위한 절연 격벽(7)을 형성하는 단계, 상기 위의 단계 이후 발광을 위한 유기막(9)을 형성하는 단계,상기 유기막(9) 위에 전자 주입 전극(11)을 형성하는 단계, 상기 전자 주입 전극(11) 위에 포토리소그래피가 가능한 물질을 형성하는 단계, 상기 물질을 포토리소그래피에 의해 패턴을 형성하는 단계, 건식 식각 공정으로 전자 주입 전극(11)을 제거하는 단계, 상기 단계 이후 절연막(13)을 형성하는 단계 및 상기 절연막(13) 위에 Cr, CrOx, Al, MoW 등의 금속막이나 절연막(15)을 소정의 두께로 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 소자 판넬의 제작 방법 및 판넬을 제공함으로써 역상의 절연 격벽을 사용하지 않기 때문에 재현성 문제, 불량 문제를 해결할 수 있고, 판넬이 안정적인 구조를 가질 수 있으며 보호막 형성이 용이하고 유기막을 보호하기 위한 방습제가 필요없게 된다.