SLOTTED SUBSTRATES AND TECHNIQUES FOR FORMING SAME

PURPOSE: A production method of an inkjet printhead is provided to offer a slow scrap speed and a fast ink refill speed and to prevent the damage for a thin film on the inkjet printhead by a chipping. CONSTITUTION: Techniques for fabricating an inkjet printhead include providing a printhead substrate(100), fabricating a thin film structure(101) on the substrate, forming a break trench(124) in a surface region of the substrate in which a feed slot is to be formed, and subsequently abrasively machining the substrate through the break trench to form the feed slot(126). The break trench is formed by an etch process, prior to applying a barrier layer(112) to the thin film structure in a preferred structure. 잉크젯 프린트헤드를 제조하는 기법은 프린트헤드 기판(102)을 제공하는 것과, 기판 상에 박막 구조물(101)을 제조하는 것과, 피드 슬롯(feed slot)이 형성될 기판의 표면 영역에 브레이크 트렌치(break trench)를 형성하는 것과, 피드 슬롯을 형성하기 위해 브레이크 트렌치를 통해 기판을 후속하여 연마 가공(abrasively machining)하는 것을 포함한다. 바람직한 실시예에서, 브레이크 트렌치는 박막 구조물에 장벽층을 도포하기 전에, 에칭 공정에 의해 형성될 수 있다.