THROTTLE VALVE OPERATING STATE DISPLAY DEVICE OF A WAFER DEPOSITION EQUIPMENT IN SEMICONDUCTOR

본 고안은 반도체 웨이퍼 증착 장비용 자동 압력 조절밸브의 표시장치에 관한 것으로, 본 고안은 스텝핑 모터의 모터축과 연결되는 회전바가 자동 압력 조절밸브를 관통하여 외부로 노출되도록 설치되고, 자동 압력 조절밸브의 외부로 노출된 회전바에는 자동 압력 조절밸브가 기계적으로 정상적인 동작을 하였는지의 여부를 외부에서 확인하기 위한 표시 부재가 설치된 것을 그 특징으로 한다. 따라서, 웨이퍼 증착 장비에 설치되는 자동 압력 조절밸브의 기계적인 동작 상태를 용이하게 육안으로 확인할수 있도록 하여 작업 공정상에 문제가 발생했을 때 신속하게 대처할수 있어서 장비 수리시간을 단축시킬수 있을 뿐만 아니라, 장비의 가동률을 향상시킬수 있게 된다.