CARRIER GUIDE APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DIFFUSION PROCESS

캐리어에 담긴 다수개의 웨이퍼를 다른 이송장치로 인계하도록 상기 캐리어를 정위치시키고 이것을 확인하도록 하는 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치 가이드장치에 관한 것이다. 본 고안은 소정의 길이를 갖는 판 형상의 지지부와, 상기 지지부의 상측으로 일정한 높이로 돌출하여 형성되는 단턱과 측벽을 구비하여 캐리어를 정위치시키는 가이드가 2개씩 한 조를 이루며 받침판의 상면에 나란히 설치되고, 상기 캐리어의 유무를 감지하는 감지센서가 상기 가이드의 지지부 중심위치에 절개되어 형성된 자리홈에 삽입되어 사기 받침판의 상면에 설치된 반도체 확산 공정의 캐리어 정위치용 가이드장치에 있어서, 2개씩 한 조를 이루는 상기 가이드는 상호 호환이 가능하도록 동일한 규격 및 형상으로 제작됨을 특징으로 한다. 따라서, 가이드를 호환성 있게 설치 사용하게 되고, 동일한 형상으로 제작함에 따라 제작비를 줄이게 되는 효과가 있다.