OPTICAL SYSTEM BEING ABLE TO COMPENSATE DISTRIBUTION OF LIGHT INTENSITY

PURPOSE: Disclosed is a lighting system for correcting illumination distribution to uniform illumination distribution of light and to improve exposure capacity by being composed to use proper correction lens to each light illumination distribution state automatically. CONSTITUTION: The lighting system for correcting illumination distribution comprises light source(51) to output light; various mirror and lens to change light character and progressive route to be irradiated light outputted from the light source(51) for the reticle(66); correction device(70) to correct illumination distribution of light using proper correction lens automatically in accordance with illumination distribution state of aforesaid light to correct blazing fire of optical axis center before changing the aforesaid light into parallel light to irradiate the light in reticle(66). 본 발명은 조도분포의 보정이 가능한 조명계에 관한 것으로서, 본 발명은 광을 출사하는 광원과, 상기 광원에서 출사된 광이 레티클을 향해 조사되도록 광의 특성 및 진행 경로를 변환시키는 각종 미러 및 렌즈와, 상기한 광이 레티클에 조사되기 위해 평행광으로 변환되기 전에 광축 중심의 열화가 보정되도록 상기한 광의 조도분포 상태에 따라 그에 알맞은 보정렌즈를 자동으로 사용하여 광의 조도분포를 보정하는 보정수단을 포함하여 각각의 광 조도분포 상태에 가장 알맞은 보정렌즈를 자동으로 선택하여 사용할 수 있도록 구성됨으로써 광의 조도분포 균일화가 쉽고 간단하게 이루어짐은 물론 노광성능이 향상되도록 한 것이다.