Synthesizing method and apparatus of spherical powder

PURPOSE: A preparation method of spherical and fine(submicron) particles used as fluorescent materials for displayer and fillers of semiconductor EMC(epoxy molding compound) is provided, which is simple and reproducible and enables mass production by thermal decomposing droplets of raw materials formed from ultrasonic sprayer of nozzle. CONSTITUTION: The preparation method of fine particles for fluorescent materials, Zn(Ga(1-x)Alx)2O4:Mn, BaMgAl10O17:Eu, (Y,Gd)BO3:Eu, comprises the steps of: preparing a precursor by dissolving nitrates, acetates, sulfates, chlorides into distilled water, isopropyl alcohol or acid; forming droplets by ultrasonic sprayer; carrying to a high temperature furnace by carrier gas(0.1-5L/min of rate) such as N2, CO2, Ar and H2; thermal-decomposing at 300-1700deg.C; drying, thermal-treating at 300-1600deg.C for 0.5-10hrs. for growing crystals and cooling. Also, the preparation method of fine SiO2 particles, fillers of semiconductor EMC, comprises the steps of: dissolving TEOS(tertaethylorthosilicate) into ethanol, HNO3 and distilled water in a molar ratio of 0.1-4 : 0.1-4 : 0.01-5 : 0.5-30; forming droplets through a nozzle under 1-3Mpa/nozzle pressure; thermal decomposing the droplets carried by the pressure at 300-1100deg.C. in a reacting furnace. 본 발명은 차세대 디스플레이용 형광체 및 반도체 EMC(Epoxy Molding Compound)의 충진제로 사용할 수 있는 서브마이크론 단위의 구형 미립자 제조 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에서는 구형의 미립자 분말을 제조하기 위하여, 원료염들이 녹아있는 액적들을 열분해시키는 방법을 이용하며 액적들을 생성하기 위해서는 초음파 분무장치 또는 노즐장치를 이용한다. 수용성인 원료염들을 용매에 녹여 전구체를 제조한 후 이들을 초음파 분무장치 또는 노즐을 이용하여 액적으로 분무시킨 후 고온의 반응기에서 이들을 열분해한다. 전구체의 제조 및 액적들의 열분해 온도, 유동 가스의 종류 등 그 외의 여러 가지 공정조건에 따라 입자들을 제조하고 제조된 미립자의 특성을 파악하여, 그 특성들을 분말의 응용에 적합하게 최적화한다. 이에 따라 본 발명은 액적장치의 선택에 따라 생산량을 수g/hr에서 수십kg/hr로 조절하여 대량으로 생산할 수 있다.