WAFER TRANSFER APPARATUS

PURPOSE: A wafer transfer apparatus is provided to prevent an external air(11) from being in flowed into the body of the wafer transfer apparatus by blocking a penetration hole of the body. CONSTITUTION: A wafer transfer apparatus(7) prevents the contamination of a wafer(9) by improving the structure of an apparatus for throwing the wafer into an electric furnace or separating the wafer. The wafer transfer apparatus loads the wafer on a front part(7a) of the body and transfers a boat(8) loaded with the semiconductor wafer to the inside of a quartz tube(10) of the electric furnace. Both sides of a back part(7b) of the wafer transfer apparatus are blocked by partition walls(13,14). 본 발명은 웨이퍼를 이송하는 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 웨이퍼를 전기로 내에 투입하거나 분리하는 장치의 구조를 개선하여 웨이퍼의 오염을 방지하는 것에 관한 것이다. 본 발명은, 앞뒤가 뚫려 내부가 관통되어 있는 몸체의 일부분에, 반도체웨이퍼를 담은 보트를 실어 전기로의 석영관 내부로 이송하는 웨이퍼 이송장치에 있어서,상기 이송장치의 몸체의 내부 관통구를 막아 몸체의 내부공간을 외부로부터 차단하는 것을 특징으로 한다.