TOOL FOR ERROR INSPECTION OF SEMICONDUCTOR WAFER BOATS

PURPOSE: An error inspection tool of semiconductor wafer boats is provided to prevent a crack and an error of wafers by easily and freely controlling the distance between a slot bar and an align bar. CONSTITUTION: A tool comprises a tool body(61) and a plurality of align bars(64). The tool body(61) is loaded in both sides of slot bars of a wafer boat to guide in accordance with the slot bars. The align bars(64) are connected to the tool body(61) for easily and freely controlling the distance according to one side of the tool body(61) and contact with sides of the slot bar. The tool body(61) and the align bar(64) are both coupled with a connector(63). The connector(63) is made of polyetrafluoroetylene. 본 발명은 반도체 웨이퍼보트의 불량검사용 공구에 관한 것이다. 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼보트의 불량검사용 공구는 검사할 웨이퍼보트의 양측 슬롯바아에 안착되어 상기 양측 슬롯바아를 따라 안내되는 공구몸체; 및 상기 공구몸체의 일측면에 그 길이 방향을 따라 수직상으로 병립되고, 공구몸체의 상기 일측면을 따라 간격 조절이 가능하도록 상기 공구몸체와 연결되어 상기 양측 슬롯바아의 내측에 배치된 슬롯바아의 측면과 각각 접촉되는 복수의 정렬바아;를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 따른 반도체 웨이퍼보트의 불량검사용 공구를 사용하는 경우에, 검사할 슬롯바아와 밀착되는 정렬바아의 간격 조절이 자유로우므로 모든 석영재질의 웨이퍼보트에 적용 가능하고, 그 웨이퍼보트에 구비된 슬롯바아의 휨 및 뒤틀림 등의 변형 상태를 사전에 정확히 인식할 수 있게 되어 웨이퍼의 파손 및 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.