반도체장치 제조설비의 종형튜브 고정부재

종형 확산로를 구성하는 종형의 튜브를 고정하기 위한 플랜지 이음 부위를 용이하게 고정하도록 하는 반도체장치 제조설비의 종형튜브 고정부재에 관한 것이다. 본 발명은 상부의 튜브 하측 주연 부위와 이 부위에 대응하는 하부의 척조립체 상측 주연 부위에 형성된 각각의 체결홀을 관통 가능한 봉 형상으로 측벽에 상기 체결홀의 암나사부와 짝을 이루는 수나사부가 형성된 몸체부와, 상기 몸체부의 상측 단부에 체결력을 제공받기 용이하도록 형성된 머리부로 구성된 반도체장치 제조설비의 종형튜브 고정부재에 있어서, 상기 몸체부의 하측 단부 중심 부위에 소정 형상과 깊이를 갖는 체결홈이 형성됨을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명에 의하면 종형튜브와 척조립체를 상호 밀착하여 체결함에 있어서 상, 하, 좌, 우 방향에서 용이하게 체결하게 됨에 따라 설비 복원 시간이 단축되고, 작업 능률이 향상되는 효과가 있다.