리소그래피 투영 노광 장치의 조명 필드에 걸쳐 조명 강도를 특정하기 위한 조명 강도 교정 장치

조명 강도 교정 장치(24)는 리소그래피 투영 노광 장치의 조명 필드(18)에 대한 조명 강도를 특정하는 역할을 한다. 교정 장치(24)는 서로 옆에 배열된 복수의 로드 형상 개별 스탑(27)를 갖는다. 변위 구동 장치는 적어도 개별 스탑(27) 중 적어도 일부를 각각의 로드 축(28)을 따라 변위시키는 역할을 한다. 개별 스탑(27)의 자유 단부는 조명 필드(18)의 조명의 강도 교정을 특정하기 위해 변위 드라이브(29)의 도움으로 특정 변위 위치로 개별적으로 변위 가능하며, 상기 강도 교정 작용 로드 축(28)에 대해 횡 방향으로 교정 차원(x)를 따른다. 개별 스탑 점(27)은 적어도 3 개의 거리 스탑 그룹(I 내지 IV)에 속하며, 각각 스탑 기준 평면(16)과 다른 거리(I 내지 IV)에있다. 후자는 교정 차원을 따라 로드 축(28) 및 교정 기준 축(x)에 평행한 로드 기준 축(y)에 걸쳐 있고 조명 필드(18)에 대한 배치 평면을 지정한다. 이에 의해, 교정 장치의 교정 정밀도가 향상된다. An illumination intensity correction device can specify an illumination intensity over an illumination field of a lithographic projection exposure apparatus. The correction device has a plurality of rod-shaped individual stops arranged next to one another. A displacement drive can displace at least some of the individual stops at least along their respective rod axis. Free ends of the individual stops are individually displaceable using the displacement drive into a specified displacement position to specify an intensity correction of an illumination of the illumination field. The intensity correction acts along a correction dimension transverse with respect to the rod axes.