RECYCLED POLISHING PAD AND METHOD OF PREPARING THE SAME

본원은 재사용 상층패드를 2 매 이상 접합하는 것을 포함하는 재생 연마패드의 제조 방법 및 이를 이용하여 제조되는 재생 연마패드에 관한 것이다.

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SONG SUN WOONG, LEEM GEUN SIC, KIM SUB, KIM PAL KON
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS GRINDING MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING PERFORMING OPERATIONS POLISHING SEMICONDUCTOR DEVICES TOOLS FOR GRINDING, BUFFING, OR SHARPENING TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본원은 재사용 상층패드를 2 매 이상 접합하는 것을 포함하는 재생 연마패드의 제조 방법 및 이를 이용하여 제조되는 재생 연마패드에 관한 것이다.