Manufacturing method of wear-resistant functional electrostatic chuck

본 발명은 정전기 힘을 이용해 물체를 고정시키는 장치로 Wafer와 Gass plates 같은 반도체 부품을 고정하기 위한 정전 척을 사용 후 폐기하는 대신 수리하여 재사용이 가능하도록 구현한 내마모 기능성 정전 척의 제조 방법에 관한 것으로, 반도체 공정설비용 정전 척 표면의 이물질을 제거하는 이물질 제거 단계; 상기 이물질 제거 단계에 의해 이물질이 제거된 반도체 공정설비용 정전 척의 표면에 퍼티재 도포하여 전처리하는 전처리 단계; 상기 전처리 단계에 의해 전처리된 정전 척의 표면에 프라이머층을 형성하는 프라이머층 형성 단계;...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LEE WON SEOP, KIM SUN TAE, KIM MYUNG SU, LEE SOO, KIM JIN SOO, LEE EUN JI, AN SUNG SOO, KIM JI HYE, YUN SE YEONG, KIM SOO YOUNG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	ADHESIVES BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS CHEMISTRY CLEANING CLEANING IN GENERAL COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES ORLACQUERS CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER CORRECTING FLUIDS DYES ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY FILLING PASTES GENERATION INKS METALLURGY MISCELLANEOUS APPLICATIONS OF MATERIALS MISCELLANEOUS COMPOSITIONS NATURAL RESINS PAINTS PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING PERFORMING OPERATIONS POLISHES PREVENTION OF FOULING IN GENERAL SEMICONDUCTOR DEVICES TRANSPORTING USE OF MATERIALS THEREFOR WOODSTAINS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 정전기 힘을 이용해 물체를 고정시키는 장치로 Wafer와 Gass plates 같은 반도체 부품을 고정하기 위한 정전 척을 사용 후 폐기하는 대신 수리하여 재사용이 가능하도록 구현한 내마모 기능성 정전 척의 제조 방법에 관한 것으로, 반도체 공정설비용 정전 척 표면의 이물질을 제거하는 이물질 제거 단계; 상기 이물질 제거 단계에 의해 이물질이 제거된 반도체 공정설비용 정전 척의 표면에 퍼티재 도포하여 전처리하는 전처리 단계; 상기 전처리 단계에 의해 전처리된 정전 척의 표면에 프라이머층을 형성하는 프라이머층 형성 단계; 상기 프라이머층 형성 단계에 의해 프라이머층이 형성된 정전 척의 표면에 내마모성 기능성층 형성용 조성물을 도포 후 양생하는 제1 조성물 도포 단계; 및 내마모성 기능성층 형성용 조성물이 도포된 표면에 표면 보호/강화 조성물을 도포하는 제2 조성물 도포 단계;를 포함한다.