FAR-FIELD SIMULATOR AND OPTICAL TEST SYSTEM INCLUDING THE SAME
본 발명은, 빔을 먼 지점에서 전파된 형태로 모사하는 장거리 모사기 및 이를 포함하는 광학 시험 시스템을 개시한다. 장거리 모사기는, 입사되는 빔을 제1빔과 제2빔으로 분할하도록 이루어지는 빔 스플리터와, 상기 빔 스플리터를 통과한 상기 제1빔의 파면의 곡률을 증가시키도록 이루어져 상기 제1빔을 먼 지점에서 전파된 형태로 모사하는 제1 장거리 모사부, 및 상기 빔 스플리터를 통과한 상기 제2빔의 파면의 곡률을 증가시키도록 이루어져 상기 제2빔을 먼 지점에서 전파된 형태로 모사하는 제2 장거리 모사부를 포함하고, 상기 제1 장거리 모...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | 본 발명은, 빔을 먼 지점에서 전파된 형태로 모사하는 장거리 모사기 및 이를 포함하는 광학 시험 시스템을 개시한다. 장거리 모사기는, 입사되는 빔을 제1빔과 제2빔으로 분할하도록 이루어지는 빔 스플리터와, 상기 빔 스플리터를 통과한 상기 제1빔의 파면의 곡률을 증가시키도록 이루어져 상기 제1빔을 먼 지점에서 전파된 형태로 모사하는 제1 장거리 모사부, 및 상기 빔 스플리터를 통과한 상기 제2빔의 파면의 곡률을 증가시키도록 이루어져 상기 제2빔을 먼 지점에서 전파된 형태로 모사하는 제2 장거리 모사부를 포함하고, 상기 제1 장거리 모사부를 거쳐 출사되는 상기 제1빔은 상기 제2 장거리 모사부를 거쳐 출사되는 상기 제2빔보다 직경이 크게 형성된다. |
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