Probe Test Apparatus Of Which Line Connecting Structure Is Lightened

본 발명은 결선구조를 경량화한 프로브 검사장치에 관한 것으로, 검사대상물(P)의 일변을 따라 상기 베이스(2) 상에 x축방향으로 연장되어 설치되는 갠트리(3); 상기 검사대상물(P)과 접촉 또는 이격되도록 승강하는 프로브(20)에 의해 상기 검사대상물(P)을 검사하는 복수의 정렬블록(5); 상기 정렬블록(5)을 상기 x축방향으로 왕복 가능하게 상기 갠트리(3) 상에 연결하는 x축구동수단(6); 상기 정렬블록(5)의 x축방향 왕복과 상기 프로브(20)의 승강을 제어하고, 상기 검사대상물(P)에 대한 상기 프로브(20)의 검사를 수행하...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: PARK JONG HYUN, OH JE HEON, SON KI HO, KIM JIN HAK, LEE SANG WOOK, KIM HYON TAE
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:본 발명은 결선구조를 경량화한 프로브 검사장치에 관한 것으로, 검사대상물(P)의 일변을 따라 상기 베이스(2) 상에 x축방향으로 연장되어 설치되는 갠트리(3); 상기 검사대상물(P)과 접촉 또는 이격되도록 승강하는 프로브(20)에 의해 상기 검사대상물(P)을 검사하는 복수의 정렬블록(5); 상기 정렬블록(5)을 상기 x축방향으로 왕복 가능하게 상기 갠트리(3) 상에 연결하는 x축구동수단(6); 상기 정렬블록(5)의 x축방향 왕복과 상기 프로브(20)의 승강을 제어하고, 상기 검사대상물(P)에 대한 상기 프로브(20)의 검사를 수행하는 제어부(7); 상기 정렬블록(5), 상기 x축구동수단(6), 및 상기 프로브(20) 중 적어도 하나와 상기 제어부(7)의 전기적인 연결을 중간에서 매개하는 중개부(8); 및 상기 정렬블록(5), 상기 x축구동수단(6), 및 상기 프로브(20)를 상기 중개부(8)에 전기적으로 연결하는 연결수단(9);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하며, 따라서 프로브와 중개부사이에서 검사신호나 구동신호를 송수신하거나 전원을 공급하는 케이블 또는 전선을 FPCB로 대체할 수 있으므로, 수십 다발의 전선이나 케이블로 인한 하중 부담과 갠트리의 높이 증가를 크게 줄일 수 있으므로, 검사장치의 작동 효율성이나 성능을 크게 향상시킬 수 있게 된다.