GRIPPER APPARATUS FOR GRIPPING A SUBSTRATE
본 발명에 따른 그리퍼는 고정그립부(141)와, 회동그립부(142)와, 상기 회동그립부를 회동시키는 그립구동부(143)로 이루어지고, 상기 회동그립부(142)가 고정그립부(141)로 회동하여, 고정그립부(141)에 안착된 피처리체의 전면을 회동그립부(142)가 가압하도록 구성되고, 상기 회동그립부(142)는 샤프트(142a)와, 상기 샤프트의 중앙 일측에 설치되는 피니언 기어(142b)와, 상기 샤프트의 중앙 타측에 설치되는 가압회동체(142c)로 이루어지고, 상기 가압회동체는 샤프트의 회전에 따라 회동하도록 구성되고, 상기 그립구...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | 본 발명에 따른 그리퍼는 고정그립부(141)와, 회동그립부(142)와, 상기 회동그립부를 회동시키는 그립구동부(143)로 이루어지고, 상기 회동그립부(142)가 고정그립부(141)로 회동하여, 고정그립부(141)에 안착된 피처리체의 전면을 회동그립부(142)가 가압하도록 구성되고, 상기 회동그립부(142)는 샤프트(142a)와, 상기 샤프트의 중앙 일측에 설치되는 피니언 기어(142b)와, 상기 샤프트의 중앙 타측에 설치되는 가압회동체(142c)로 이루어지고, 상기 가압회동체는 샤프트의 회전에 따라 회동하도록 구성되고, 상기 그립구동부(143)는 가이드 레일(143a)과, 상기 가이드 레일을 따라 승강하는 지지대(143b)와, 상기 지지대의 상부에 설치되는 승강구동체(143c)와, 상기 지지대의 하부에 설치되는 랙 기어(143d)로 이루어지고, 상기 랙 기어(143d)는 회동그립부의 피니언 기어(142b)와 결합되며, 상기 고정그립부(141)에는 평면안착부(141a)가 구비되고, 상기 회동그립부(142)의 가압회동체(142c)에는 가압밀착부(142cc)가 구비되며, 상기 피처리체는 평면안착부(141a)와 가압밀착부(142cc) 사이에서 파지된다. |
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