System and method for matching and analyzing real-time process data of semiconductor equipment

본 발명은 반도체 장비의 실시간 공정 데이터를 매칭 및 분석하는 시스템에 관한 것으로, 고장 발생 전 예측으로 미리 대응하기 위한 반도체 장비의 실시간 공정 데이터를 매칭 및 분석하는 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 반도체 장비들로부터 실시간 공정 데이터를 수집하여 데이터 마이닝을 통해 분석하여 적절한 공정 파라미터를 도출하고, 반도체 장비들의 이상 발생 시점 전/후 데이터 시각화를 제공하는 시스템 및 그 방법을 제공하여 반도체/FPD 장비의 이상 발생시 실시간으로 수집된 공정 데이터를 이용하여 이상 발생 전...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KIM EUNG SUK, KO, SUNG HUN, LEE SEOK CHAN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	CALCULATING COMPUTER SYSTEMS BASED ON SPECIFIC COMPUTATIONAL MODELS COMPUTING CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL CONTROLLING COUNTING FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS PHYSICS REGULATING TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 반도체 장비의 실시간 공정 데이터를 매칭 및 분석하는 시스템에 관한 것으로, 고장 발생 전 예측으로 미리 대응하기 위한 반도체 장비의 실시간 공정 데이터를 매칭 및 분석하는 시스템 및 그 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 반도체 장비들로부터 실시간 공정 데이터를 수집하여 데이터 마이닝을 통해 분석하여 적절한 공정 파라미터를 도출하고, 반도체 장비들의 이상 발생 시점 전/후 데이터 시각화를 제공하는 시스템 및 그 방법을 제공하여 반도체/FPD 장비의 이상 발생시 실시간으로 수집된 공정 데이터를 이용하여 이상 발생 전/후 데이터를 시각화할 수 있다.