Plasma density precision diagnosis method
본 발명은 다양한 종류의 플라즈마 밀도 센서가 설치되는 플라즈마 밀도 진단 장치를 이용하여 웨이퍼 기판의 플라즈마 밀도를 정밀하게 측정하기 위한 플라즈마 밀도의 정밀 진단 방법에 관한 것으로, 상기 기판을 상기 플라즈마 밀도의 정밀 진단 장치에 안착시키는 안착 단계; 및 상기 기판의 플라즈마의 밀도를 센싱하는 센싱 단계;를 포함한다....
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|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
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| Zusammenfassung: | 본 발명은 다양한 종류의 플라즈마 밀도 센서가 설치되는 플라즈마 밀도 진단 장치를 이용하여 웨이퍼 기판의 플라즈마 밀도를 정밀하게 측정하기 위한 플라즈마 밀도의 정밀 진단 방법에 관한 것으로, 상기 기판을 상기 플라즈마 밀도의 정밀 진단 장치에 안착시키는 안착 단계; 및 상기 기판의 플라즈마의 밀도를 센싱하는 센싱 단계;를 포함한다. |
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