GAS BOX ASSEMBLY FOR HIGH PRESSURE HEAT-TREATMENT APPARATUS

본 발명은, 내부 공간을 구비하는 하우징; 상기 내부 공간에 배치되고, 고압 열처리 장치의 챔버에 공정 가스를 공급하도록 구성되는 공급 모듈; 상기 챔버에서의 대상물에 대한 열처리에 따른 가스를 배기하도록 구성되는 배기 모듈; 및 상기 내부 공간에 상기 하우징의 외부 압력보다 높은 압력으로 보호 가스를 충전하도록 구성되어, 외부 공기가 상기 내부 공간으로 유입되는 것을 차단하는 충전 모듈을 포함하는, 고압 열처리 장치용 가스 박스 어셈블리를 제공한다. Provided is a gas box assembly for a high pressure processing apparatus, the assembly including: a housing having an inner space; a supply module disposed in the inner space and supplying a process gas to a chamber of the high pressure processing apparatus; an exhaust module exhausting a gas occurring due to processing of an object in the chamber; and a charge module charging a protection gas into the inner space at a pressure higher than an external pressure of the housing to block external air from being introduced into the inner space.