SYNTHETIC QUARTZ MANUFACTURING FACILITY THAT CAN PREVENT SURFACE DEFECTS OF DEPOSITS THROUGH IMPROVED EXHAUST PERFORMANCE

합성쿼츠의 제조를 위해 사용될 수 있는 제조설비가 개시된다. 본 발명에 따르면, 반응로로 기능하는 소정의 내부공간을 형성하는 챔버; 증착물이 증착되는 원통형의 증착영역을 구비하고, 반응로 내부에 배치되어 길이방향을 축으로 회전 구동되는 맨드릴; 맨드릴의 길이방향을 따라 이격 배치된 복수의 메인버너를 구비하고, 증착영역을 향해 상방으로 화염을 제공하여 맨드릴의 회전에 따라 원료물질을 증착영역에 다공성의 층상구조로 증착시키는 메인버너부; 맨드릴의 길이방향 각 단부에 인접하게 배치되어, 증착물의 길이방향 각 단부에 추가적인 열량을 공급하...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LEE DA MIN, KANG JAE HYEON, HWANG IN SOO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	CHEMISTRY GLASS MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES METALLURGY MINERAL OR SLAG WOOL
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Beschreibung
Zusammenfassung:	합성쿼츠의 제조를 위해 사용될 수 있는 제조설비가 개시된다. 본 발명에 따르면, 반응로로 기능하는 소정의 내부공간을 형성하는 챔버; 증착물이 증착되는 원통형의 증착영역을 구비하고, 반응로 내부에 배치되어 길이방향을 축으로 회전 구동되는 맨드릴; 맨드릴의 길이방향을 따라 이격 배치된 복수의 메인버너를 구비하고, 증착영역을 향해 상방으로 화염을 제공하여 맨드릴의 회전에 따라 원료물질을 증착영역에 다공성의 층상구조로 증착시키는 메인버너부; 맨드릴의 길이방향 각 단부에 인접하게 배치되어, 증착물의 길이방향 각 단부에 추가적인 열량을 공급하는 엔드버너부; 및 엔드버너부와 인접하게 배치되어, 맨드릴의 각 단부에서 부유하는 부유물을 흡입하는 국소배기장치;를 포함하는, 합성쿼츠 제조설비가 제공된다. 본 발명은 반응로에 잔존하는 부유물을 최소화하고, 부유물로 인한 증착물의 표면결함을 효과적으로 방지한다.