Electrostatic chuck with integral porous filter and manufacturing method thereof

According to one embodiment of the present invention, provided is an electrostatic chuck which comprises: a base body in which a supply flow path through which gas can flow is formed; a porous filter disposed inside the base body and connected to the supply flow path; an insulating unit that contacts the porous filter and is coupled to an upper surface of the base body; and an adsorption plate that is bonded to an upper surface of the insulating unit by an adhesive layer and adsorbs a wafer by electrostatic force generated by receiving power from the outside. The porous filter is formed to extend along a longitudinal central axis and disposed inside the base body in a state in which it contacts the adsorption plate. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 기체가 유동가능한 공급유로가 형성되는 베이스 바디와, 베이스 바디의 내측에 배치되고, 공급유로와 연결되는 다공성 필터와, 다공성 필터와 접촉되며, 베이스 바디의 상면에 결합되는 절연부 및 접착층에 의해 절연부의 상면에 접합하고, 외부로부터 전원을 공급받아 발생하는 정전기력에 의해 웨이퍼를 흡착하는 흡착 플레이트를 포함하고, 다공성 필터는 길이 방향 중심축을 따라 연장 형성되며, 흡착 플레이트에 접촉된 상태로 베이스 바디의 내측에 배치되는 것을 특징으로 하는 정전척을 제공한다.