LASER HOMOGENIZATION DEVICE FOR LASER ILLUMINATOR

A laser homogenizer includes: a first microlens array including a plurality of microlenses arranged on a plane perpendicular to the first direction in which the laser light is irradiated; a second microlens array facing the first micro lens array and including a plurality of microlenses arranged on...

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Hauptverfasser: HONG DAE GI, LEE JONG MIN
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:A laser homogenizer includes: a first microlens array including a plurality of microlenses arranged on a plane perpendicular to the first direction in which the laser light is irradiated; a second microlens array facing the first micro lens array and including a plurality of microlenses arranged on a plane perpendicular to the first direction; a cylinder lens which passes through the first microlens array and the second microlens array and condenses laser light incident on one side in the form of a line; a cylinder lens rotation structure on which the cylinder lens is mounted; and a rotation motor for rotating the cylinder lens rotation structure. Accordingly, a speckle pattern and laser mode shape of the laser light collimated at an output end of a laser illuminator can be reduced. 레이저 균질화 장치는 레이저광이 조사되는 제1 방향에 수직인 평면상에 배열된 복수의 마이크로 렌즈를 포함하는 제1 마이크로 렌즈 어레이, 상기 제1 마이크로 렌즈 어레이와 마주하고, 상기 제1 방향에 수직인 평면상에 배열된 복수의 마이크로 렌즈를 포함하는 제2 마이크로 렌즈 어레이, 상기 제1 마이크로 렌즈 어레이와 상기 제2 마이크로 렌즈 어레이를 통과하여 한 면으로 입사되는 레이저광을 라인 형태로 집광하는 실린더 렌즈, 상기 실린더 렌즈가 장착되는 실린더 렌즈 회전 구조부, 및 상기 실린더 렌즈 회전 구조부를 회전시키는 회전 모터를 포함한다.