FLOW RATE CONTROL DEVICE

Provided is a flow rate control device capable of suppressing overshoot while improving responsiveness at the start of flow rate control. The flow rate control device (1) according to the present invention comprises: a flow meter (2) measuring a flow rate of a fluid flowing through a flow path (8); a flow rate control valve (4) regulating the flow rate of the fluid flowing through the flow path (8); and a control unit (7) controlling an opening degree of the flow rate control valve (4) based on a measurement result of the flow meter (2). The flow rate control device (1) has a low-flow rate rapid valve opening function which accelerates an outflow of the fluid by forcibly opening the opening degree of the flow control valve (4) from a fully closed degree to a specified opening degree when the opening degree of the flow rate control valve (4) is fully closed and flow rate control is started, and an overshoot suppression function which suppresses overshoot by allowing the flow rate control to wait until a preset waiting time is reached immediately after an operation of the low-flow rate rapid valve opening function, or until a preset flow rate threshold is reached. Accordingly, overshoot can be suppressed while improving responsiveness at the start of the flow rate control. 유량 제어 개시시의 응답성을 개선하면서 오버 슛을 억제할 수 있는 유량 제어 장치를 제공한다. 본 발명에 관한 유량 제어 장치(1)는, 유로(8)를 흐르는 유체의 유량을 측정하는 유량계(2)와, 유로(8)를 흐르는 유체의 유량을 조절하는 유량 조절 밸브(4)와, 유량계(2)의 측정 결과에 기초하여 유량 조절 밸브(4)의 개방도를 제어하는 제어부(7)를 구비하고, 유량 조절 밸브(4)의 개방도가 완전 폐쇄이고, 또한 유량 제어를 개시한 시점에서 유량 조절 밸브(4)의 개방도를 완전 폐쇄에서부터 지정 개방도까지 강제적으로 개방함으로써 유체의 유출을 앞당기는 저유량 급속 밸브 오픈 기능과, 저유량 급속 밸브 오픈 기능의 동작 직후에 미리 설정된 대기 시간에 도달하거나, 또는 미리 설정된 유량 문턱값에 도달할 때까지 유량 제어를 대기시킴으로써 오버 슛을 억제하는 오버 슛 억제 기능이 있다.