Inspection apparatus for semiconductor devices using a beam containing alpha particles

Provided is an inspection device for semiconductor devices, which includes: a stage on which a semiconductor device under test is placed; an alpha particle source disposed on the stage and radiating a beam containing alpha particles to the semiconductor device under test; and a beam controller disposed adjacent to the stage and controlling an irradiation angle of the beam irradiated from the alpha particle source. Since an irradiation angle of the beam emitted from the alpha particle source can be precisely controlled, inspection of the semiconductor device under test can be easily performed. 반도체 소자의 검사 장치가 제공된다. 피시험 반도체 소자가 배치되는 스테이지, 상기 스테이지 상에 배치되어, 상기 피시험 반도체 소자로, 알파입자를 포함하는 빔을 조사하는 알파입자 선원, 및 상기 스테이지와 인접하게 배치되어, 상기 알파입자 선원에서 조사되는 상기 빔의 조사 각도를 제어하는 빔 제어부를 포함하는 반도체 소자의 검사 장치에 있어서, 상기 알파입자 선원에서 조사되는 상기 빔의 조사 각도를 정밀하게 제어할 수 있어, 상기 피시험 반도체 소자에 대한 검사가 용이하게 수행될 수 있다.