Cleaning system for semiconductor wafers

The present invention relates to a cleaning system of a semiconductor wafer by using a buffer inversion unit, which can shorten a time consumed for a cleaning process and improve quality by inverting a plurality of semiconductor wafers all at once. The cleaning system of a semiconductor wafer comprises: a loader unit in which a plurality of cassettes, accommodating semiconductor wafers in multi-layered slots, respectively, are arranged; an index unit which alternately takes out odd-layer semiconductor wafers and even-layer semiconductor wafers from the cassettes of the loader unit to be delivered; a buffer inversion unit which inverts the odd-layer semiconductor wafers and the even-layer semiconductor wafers, delivered from the index unit, all at once; and a transfer unit which transfers the plurality of semiconductor wafers inverted by the buffer inversion unit to be loaded in a spin chuck in a cleansing chamber. Therefore, the present invention has a useful effect of shortening time and resolving logistics congestion by allowing the inversion unit to invert 26 semiconductor wafers all at once to perform the cleaning process, reducing manufacturing costs by the single inversion unit, and reducing costs consumed for maintenance. 본 발명은 다량의 반도체 웨이퍼를 한 번에 반전시켜서 세정공정에 소요되는 시간을 단축하고 품질을 개선할 수 있는 버퍼반전유닛을 이용한 반도체 웨이퍼의 세정시스템에 관한 것이다. 이러한 본 발명은, 다층의 슬롯에 반도체 웨이퍼를 각각 수납한 복수의 카세트가 정렬된 로더유닛; 상기 로더유닛의 카세트에서 홀수 층 반도체 웨이퍼와 짝수 층 반도체 웨이퍼를 교번으로 꺼내서 전달하는 인덱스유닛; 상기 인덱스유닛에서 전달된 홀수 층 반도체 웨이퍼 및 짝수 층 반도체 웨이퍼를 한 번에 반전하는 버퍼반전유닛; 상기 버퍼반전유닛으로 반전된 수 매의 반도체 웨이퍼를 세정챔버 내의 스핀 척에 로딩되도록 이송시키는 트랜스퍼유닛;을 포함하는 것을 기술사상으로 한다. 따라서, 본 발명은 반전유닛에서 26매의 반도체 웨이퍼를 한 번에 반전시켜서 세정 공정을 진행하므로 시간을 단축하고 물류의 정체를 해소하며, 단일의 반전유닛에 의해 제작 비용을 절감하고 유지 보수에 소요되는 비용을 절감할 수 있는 매우 유용한 효과가 있다.