3 3 APPARATUS AND METHOD FOR 3D SURFACE SHAPE INSPECTION

3차원 곡면 형상 검사 장치는 스테이지, 레이저 센서, 및 제어 모듈을 포함한다. 검사 대상물은 스테이지에 안착된다. 레이저 센서는 검사 대상물로부터 일정 거리 이격된 상태에서 검사 대상물과 평행한 제1 방향으로 이동하면서, 검사 대상물의 표면에 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 형성되는 라인 레이저를 주기적으로 조사하여 검사 대상물의 표면에서 라인 레이저가 조사된 라인 상의 복수의 지점들의 높이들을 측정하고 측정된 높이들을 포함하는 라인 프로파일 데이터를 매 주기마다 생성한다. 제어 모듈은 레이저 센서로부터 검사 대상물의 표면에...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	BANG SUNG HO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	CALCULATING COMPUTING COUNTING IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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