3 3 APPARATUS AND METHOD FOR 3D SURFACE SHAPE INSPECTION

3차원 곡면 형상 검사 장치는 스테이지, 레이저 센서, 및 제어 모듈을 포함한다. 검사 대상물은 스테이지에 안착된다. 레이저 센서는 검사 대상물로부터 일정 거리 이격된 상태에서 검사 대상물과 평행한 제1 방향으로 이동하면서, 검사 대상물의 표면에 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 형성되는 라인 레이저를 주기적으로 조사하여 검사 대상물의 표면에서 라인 레이저가 조사된 라인 상의 복수의 지점들의 높이들을 측정하고 측정된 높이들을 포함하는 라인 프로파일 데이터를 매 주기마다 생성한다. 제어 모듈은 레이저 센서로부터 검사 대상물의 표면에...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	BANG SUNG HO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	CALCULATING COMPUTING COUNTING IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	3차원 곡면 형상 검사 장치는 스테이지, 레이저 센서, 및 제어 모듈을 포함한다. 검사 대상물은 스테이지에 안착된다. 레이저 센서는 검사 대상물로부터 일정 거리 이격된 상태에서 검사 대상물과 평행한 제1 방향으로 이동하면서, 검사 대상물의 표면에 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 형성되는 라인 레이저를 주기적으로 조사하여 검사 대상물의 표면에서 라인 레이저가 조사된 라인 상의 복수의 지점들의 높이들을 측정하고 측정된 높이들을 포함하는 라인 프로파일 데이터를 매 주기마다 생성한다. 제어 모듈은 레이저 센서로부터 검사 대상물의 표면에 대해 라인별로 생성되는 복수의 라인 프로파일 데이터들을 수신하고, 복수의 라인 프로파일 데이터들 각각에 기초하여 복수의 라인 프로파일 데이터들 각각에 상응하는 라인의 굴곡 형상을 제1 내지 제n(n은 2 이상의 양의 정수) 유형들 중의 하나로 분류하고, 분류된 유형에 기초하여 복수의 라인 프로파일 데이터들 각각에 상응하는 라인의 대표 단차를 결정하고, 복수의 라인 프로파일 데이터들에 대한 복수의 대표 단차들 및 평탄도 공차 범위에 기초하여 검사 대상물의 표면의 평탄도 불량 여부를 결정한다.