Deep learning-based semiconductor chemical liquid temperature control system

The present invention relates to a precise temperature control system used in a central chemical supply system (C.C.S.S). According to one aspect of the present invention, provided is a chemical solution temperature control system for controlling the temperature of a chemical solution used in a semiconductor manufacturing process. The chemical solution temperature control system comprises: a heat exchanger module for heating or cooling a chemical solution supplied from a chemical solution tank; a control module for performing cooling or heating control of the heat exchanger module; and a deep learning-based temperature prediction module for predicting the discharge temperature of the chemical solution discharged from the heat exchanger module. The heat exchanger module is composed of a plurality of unit heat exchangers, and each of the unit heat exchangers is individually controlled by the deep learning-based temperature prediction module. Accordingly, the temperature of the chemical solution can be precisely controlled. 본 발명은 반도체 약액공급시스템(C.C.S.S(Central Chemical Supply System))에 이용되는 정밀 온도 제어 시스템에 관한 것으로 본 발명의 일양태에 따르면, 반도체 제조 공정에 이용되는 약액의 온도를 제어하기 위한 약액 온도 제어 시스템이 제공되고, 이 시스템은, 약액탱크로부터 공급되는 약액을 가열 또는 냉각하는 열교환기 모듈; 열교환기 모듈의 냉각 또는 가열 제어를 수행하는 제어 모듈; 및 열교환기 모듈로부터 배출되는 약액의 배출 온도를 예측하기 위한 딥러닝 기반의 온도 예측 모듈을 포함하고, 상기 열교환기 모듈은 복수의 단위 열교환기로 이루어지고, 상기 복수의 단위 열교환기 각각은 딥러닝 기반의 온도 예측 모듈에 의해 개별적으로 제어된다.