Pressure sensor

According to one embodiment of the present invention, a pressure sensor comprises: a housing inserted and installed in an insertion hole penetrating an upper surface of a crucible having an internal space (H) disposed in a sealed processing space (S) inside a vacuum chamber, wherein the housing has a passage for allowing the processing space to communicate with the internal space; a diaphragm installed in the passage to block the passage, and bent according to the pressure of the internal space (H); a first electrode plate disposed in an upper portion of the diaphragm and spaced apart from the diaphragm by a first interval; a first insulator installed at the first interval to support the first electrode plate, forming a connection space (B) together with the housing and the diaphragm, and having a through hole for allowing the connection space (B) to communicate with the processing space (S); a capacitance measuring unit capable of calculating a first capacitance between the diaphragm and the first electrode plate; and a pressure conversion unit capable of converting the first capacitance into a pressure. The present invention can accurately measure the internal pressure of the crucible. 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 압력센서는, 진공챔버 내부의 밀폐된 처리공간(S)에 배치된 내부공간(H)을 가지는 도가니의 상면을 관통하는 삽입홀에 삽입 설치되며, 상기 처리공간과 상기 내부공간을 연통하는 통로를 가지는 하우징; 상기 통로에 설치되어 상기 통로를 차단하며, 상기 내부공간(H)의 압력에 따라 휘는 다이어프램; 상기 다이어프램의 상부에 배치되며 상기 다이어프램과 제1간격만큼 이격 설치되는 제1전극판; 상기 제1간격에 설치되어 상기 제1전극판을 지지하며, 상기 하우징 및 상기 다이어프램과 함께 연결공간(B)를 형성하고, 상기 연결공간(B)과 상기 상기 처리공간(S)을 연통하는 관통홀이 형성된 제1절연체; 상기 다이어프램과 상기 제1전극판 사이의 제1전기용량을 산출 가능한 전기용량 측정부; 그리고 상기 제1전기용량을 압력으로 변환 가능한 압력 변환부;를 포함한다.