EUV EUV Pellicle

The present invention relates to an EUV pellicle. More specifically, the present invention is composed of: a frame in which a plurality of ventilation holes are formed in a horizontal direction; a filter vertically embedded in the frame to cover the ventilation hole; an adhesive attached to the upper surface of the frame; and a pellicle membrane installed on the upper surface of the adhesive, so that a processing process is simple and easy, it is possible to stably fix the position without physical interference from the outside, and it is possible to prevent deformation, separation or damage of the filter. 본 발명은 EUV 펠리클에 관한 것으로서, 특히 수평방향으로 다수의 통기홀이 형성된 프레임과; 상기 프레임 내부에 수직으로 매립되어 상기 통기홀을 커버하는 필터와; 상기 프레임의 상면에 부착되는 접착제와; 상기 접착제의 상면에 설치되는 펠리클 멤브레인;를 포함하여 구성되어, 가공 공정이 단순하면서 용이하고, 외부로부터의 물리적 간섭 없이 안정적으로 위치고정이 가능하며, 필터의 변형, 이탈 또는 파손을 방지할 수 있는 이점이 있다.