WAFER EXAMINATION APPARATUS

본 발명은 웨이퍼 검사장치에 관한 것으로서, 웨이퍼에 마련된 모든 칩들의 불량여부를 하나도 빠짐없이 자동으로 검사할 수 있으며, 웨이퍼의 불량여부를 확인하기 위한 프로브의 니들 마모도를 새로운 방식으로 검사할 수 있도록 함을 목적으로 한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치는, 웨이퍼를 이송하는 이송부, 상기 이송부에 의해 이송된 웨이퍼의 상측에서 웨이퍼에 마련된 다수개의 칩들 중 기준점이 되는 하나의 칩을 선정한 후 칩들의 좌표 값이 저장되어 칩 맵이 생성될 수 있도록 함으로써, 상기 칩들과 프로브의 니들이 전기적으로 접속될 수 있...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	PARK TAE O
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 웨이퍼 검사장치에 관한 것으로서, 웨이퍼에 마련된 모든 칩들의 불량여부를 하나도 빠짐없이 자동으로 검사할 수 있으며, 웨이퍼의 불량여부를 확인하기 위한 프로브의 니들 마모도를 새로운 방식으로 검사할 수 있도록 함을 목적으로 한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 검사장치는, 웨이퍼를 이송하는 이송부, 상기 이송부에 의해 이송된 웨이퍼의 상측에서 웨이퍼에 마련된 다수개의 칩들 중 기준점이 되는 하나의 칩을 선정한 후 칩들의 좌표 값이 저장되어 칩 맵이 생성될 수 있도록 함으로써, 상기 칩들과 프로브의 니들이 전기적으로 접속될 수 있도록 하는 맵핑부, 상기 맵핑부에 의해 맵핑된 후 이송부재에 의해 이송된 웨이퍼의 칩들과 프로브의 니들이 전기적으로 접속하는지 여부를 판단하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는 맵핑부로부터 수신한 정보를 기준으로 이송부를 작동시켜 모든 칩들이 프로브의 니들과 접속되도록 한다.