Acoustic resonator and acoustic resonator filter
According to one embodiment of the present invention, an acoustic resonator capable of reducing insertion loss comprises: a piezoelectric layer; an upper electrode including a first active region disposed on the piezoelectric layer and a first extension region extending in a first lateral direction...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | According to one embodiment of the present invention, an acoustic resonator capable of reducing insertion loss comprises: a piezoelectric layer; an upper electrode including a first active region disposed on the piezoelectric layer and a first extension region extending in a first lateral direction from the first active region; a lower electrode including a second active region disposed under the piezoelectric layer and a second extension region extending in a second lateral direction from the second active region; a first metal layer electrically connected to the first extension region of the upper electrode and including a first resistance reduction region disposed on the first extension region; and a second metal layer electrically connected to the second extension region of the lower electrode and including a second resistance reduction region disposed on the second extension region. The first metal layer further includes a first conductive connection region extending from the first resistance reduction region to correspond to a portion of the side boundary of the first and second active regions. The second metal layer further includes a second conductive connection region extending from the second resistance reduction region to correspond to another portion of the side boundary of the first and second active regions.
본 발명의 일 실시 예에 따른 음향 공진기는, 압전체층과, 압전체층의 상부에 배치된 제1 활성 영역과, 제1 활성 영역에서부터 제1 측방향으로 연장된 제1 연장 영역을 포함하는 상부전극과, 압전체층의 하부에 배치된 제2 활성 영역과, 제2 활성 영역에서부터 제2 측방향으로 연장된 제2 연장 영역을 포함하는 하부전극과, 상부전극의 제1 연장 영역에 전기적으로 연결되고 제1 연장 영역의 상부에 배치된 제1 저항저하 영역을 포함하는 제1 금속층과, 하부전극의 제2 연장 영역에 전기적으로 연결되고 제2 연장 영역의 상부에 배치된 제2 저항저하 영역을 포함하는 제2 금속층을 포함하고, 제1 금속층은 제1 저항저하 영역에서부터 제1 및 제2 활성 영역의 측경계의 일부분에 대응하여 연장된 제1 도전성 연계 영역을 더 포함하고, 제2 금속층은 제2 저항저하 영역에서부터 제1 및 제2 활성 영역의 측경계의 다른 일부분에 대응하여 연장된 제2 도전성 연계 영역을 더 포함한다. |
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