OPTICAL INTERFEROMETER

광 간섭 시스템이 개시된다. 본 발명의 일실시예에 따른 광 간섭 시스템은 광을 발생시키는 광원과, 광원으로부터 발생된 광 중 대물렌즈에 의해 샘플에 반사된 측정광과 이동 기준미러에 반사된 기준광을 간섭시켜 메인 간섭신호를 발생시키는 메인 간섭계와, 광원으로부터 발생된 광 중 상기 이동 기준미러에 반사된 기준광과 고정 기준미러에 반사된 기준광을 간섭시켜 보조 간섭신호를 발생시키는 보조 간섭계와, 이동 기준미러를 이동시키는 미러이동부와, 대물렌즈를 다른 배율의 대물렌즈로 변경시키는 렌즈변경부와, 대물렌즈를 렌즈이동부와, 메인 간섭신호와...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	PARK JAE SEOK, YOO JEONG SOO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	COLORIMETRY MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS RADIATION PYROMETRY TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	광 간섭 시스템이 개시된다. 본 발명의 일실시예에 따른 광 간섭 시스템은 광을 발생시키는 광원과, 광원으로부터 발생된 광 중 대물렌즈에 의해 샘플에 반사된 측정광과 이동 기준미러에 반사된 기준광을 간섭시켜 메인 간섭신호를 발생시키는 메인 간섭계와, 광원으로부터 발생된 광 중 상기 이동 기준미러에 반사된 기준광과 고정 기준미러에 반사된 기준광을 간섭시켜 보조 간섭신호를 발생시키는 보조 간섭계와, 이동 기준미러를 이동시키는 미러이동부와, 대물렌즈를 다른 배율의 대물렌즈로 변경시키는 렌즈변경부와, 대물렌즈를 렌즈이동부와, 메인 간섭신호와 보조 간섭신호를 감지하는 감지부 및 메인 간섭신호와 보조 간섭신호에 대한 광 스펙트럼 분석으로부터 결정되는 메인 간섭신호와 보조 간섭신호의 광축방향 위치에 따라 대물렌즈와 이동 기준미러 중 적어도 하나의 이동을 제어하는 제어부를 포함한다.