Silicon nanowire-based piezoresistive microphone and method of manufacturing the same

본 발명은 실리콘 나노 와이어 기반 압저항 방식의 마이크로폰 및 그 제조 방법이 제공된다. 실리콘 나노 와이어 기반 압저항 방식의 마이크로폰의 제조 방법은 실리콘 기판에 실리콘 나노 와이어 및 센서 구조물을 형성하는 제1 단계; 상기 실리콘 나노 와이어 및 상기 센서 구조물을 둘러싸는 멤브레인을 형성하는 제2 단계; 및 상기 실리콘 기판에 공동(cavity)을 형성하여 상기 멤브레인을 부유시키고, 벤트홀을 형성하는 제3 단계를 포함한다....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	CHANG BOBARO, LEE SEUNG HYUN, CHO DONG IL, KIM TAE YUP, JANG SEO HYEONG
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	DEAF-AID SETS ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ELECTRICITY LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 실리콘 나노 와이어 기반 압저항 방식의 마이크로폰 및 그 제조 방법이 제공된다. 실리콘 나노 와이어 기반 압저항 방식의 마이크로폰의 제조 방법은 실리콘 기판에 실리콘 나노 와이어 및 센서 구조물을 형성하는 제1 단계; 상기 실리콘 나노 와이어 및 상기 센서 구조물을 둘러싸는 멤브레인을 형성하는 제2 단계; 및 상기 실리콘 기판에 공동(cavity)을 형성하여 상기 멤브레인을 부유시키고, 벤트홀을 형성하는 제3 단계를 포함한다.