Heating jacket

The present invention relates to a heating jacket installed in a pipe of a semiconductor process facility to heat the pipe at a high temperature. The heating jacket comprises: an insulation pad (110) composed of an inner sheet (111), an outer sheet (112), and a side sheet (113), wherein an insulation member (114) is filled to be sewed and combined, and the outer sheet (112) has a width longer than the width of the inner sheet (111) to have an outwardly convex three-dimensional structure; a free end part (120) composed of a sheet layer which is inserted between the inner sheet (111) and the outer sheet (112) at one side end in the longitudinal direction of the insulation pad (110) and is integrally sewed and fixed; a first Velcro tape (131) attached to the free end part (120); a second Velcro tape (132) attached to the outer circumferential surface of the insulation pad (110) to be adhered on the first Velcro tape (131); a pair of heat-resistant sheets (141, 142) sewed and fixed in a longitudinal direction to both ends of the insulation pad (110) in a width direction; a heating wire part (150) arranged in a predetermined pattern between the heat-resistant sheets (141, 142) to be sewed and fixed; and a double-sided tape (161) attached to the inner surface of the heat-resistant sheets (141, 142). The width (W1) of the heating wire part (150) wound around a pipe (10) is greater than the circular circumference of the pipe (10), and thus the heating wire part (150) has a section in which at least a part thereof overlaps. 본 발명은 반도체 공정 설비의 배관에 설치되어 배관을 고온으로 가열하기 위한 히팅 재킷(heating jacket)에 관한 것으로, 인너시트(111), 아웃터시트(112) 및 사이드시트(113)로 구성되어 내부에 단열부재(114)가 충전되어 봉제 접합되되, 상기 아웃터시트(112)는 상기 인너시트(111) 보다 폭이 더 길어서 바깥으로 볼록한 입체적 구조를 갖는 단열 패드(110)와; 상기 단열 패드(110)의 길이 방향의 일측 단부에서 상기 인너시트(111)와 아웃터시트(112) 사이에 삽입되어 일체로 봉제 고정되는 시트층으로 구성된 자유단부(120)와; 상기 자유단부(120)에 부착되는 제1벨크로 테이프(131)와; 상기 단열 패드(110)의 외주면에 부착되어 상기 제1벨크로 테이프(131)와 점착이 가능한 제2벨크로 테이프(132)와; 상기 단열 패드(110)의 폭방향의 양단에 길이 방향을 따라서 봉제 고정되는 한 쌍의 내열성 시트(141)(142)와; 상기 내열성 시트(141)(142) 사이에 일정 패턴으로 배치되어 봉제 고정되는 열선부(150)와; 상기 내열성 시트(141)(142)의 내측 면에 부착되는 양면테이프(161);를 포함하며, 배관(10)에 감기되는 열선부(150)의 폭(W1)은 배관(10)의 원둘레 보다는 커서 열선부(150)는 적어도 일부가 중첩된 구간을 갖다.