TRANSFER DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER

The present invention relates to a transfer apparatus for a semiconductor wafer, capable of preventing vibration from being transferred to a cassette. According to the present invention, the transfer device comprises: an inspection conveyor to transfer a wafer at a constant speed; a rail member to provide a path circulated from the inspection conveyor through circulation and discharge conveyors, and circulated again to the inspection conveyor; a transfer carriage slid and circulated along the rail member, and holding and transferring the wafer; an input unit absorbing the wafer transferred along the circulation or discharge conveyor to supply the wafer to the inside of a cassette; and the cassette holding and storing the wafer supplied from the input unit at a predetermined interval, and providing a closed space in order to prevent vibration transferred during moving from being transferred to the wafer. The transfer carriage includes: a pair of holding units mounted along the rail member to be able to slide; a connection main body installed to maintain an interval between the holding units; a rotary member installed to the connection main body to be able to rotate; an extension plate outwardly extended from the rotary member; a first adhering panel installed in the extended plate, to which the wafer adheres; and a vacuum generation unit to provide vacuum pressure to allow the wafer to adhere to the first adhering panel. 본 발명은, 웨이퍼를 일정한 속도록 이송시키는 검사컨베이어; 상기 검사컨베이어로부터 순환컨베이어 및 배출컨베이어를 지나 다시 상기 검사컨베이어로 순환하는 경로를 제공하는 레일부재; 상기 레일부재를 따라 슬라이딩되며 순환되고, 웨이퍼를 거치하여 이동시키는 이송대차; 상기 순환컨베이어 또는 상기 배출컨베이어를 따라 이송되는 웨이퍼를 흡착시켜 카세트 내부에 공급하는 투입부; 및 상기 투입부로부터 공급되는 웨이퍼를 일정한 간격을 유지하며 수납하고, 이동 중에 전달되는 진동이 웨이퍼에 전달되는 것을 방지하도록 밀폐공간을 제공하는 카세트를 포함하고, 상기 이송대차는, 상기 레일부재를 따라 슬라이딩 가능하게 안착되는 한 쌍의 거치부; 한 쌍의 상기 거치부 사이에 간격이 유지되도록 설치되는 연결본체; 상기 연결본체에 회전 가능하게 설치되는 회전부재; 상기 회전부재로부터 외측 방향으로 연장되는 연장대; 상기 연장대에 구비되고, 웨이퍼가 밀착되는 제1밀착패널; 및 상기 제1밀착패널에 웨이퍼가 밀착되도록 진공압을 제공하는 진공발생부를 포함하는 것을 특징으로 한다.