MACHINING SYSTEM USING A LOCALIZED ANODIZING AND A METHOD FOR MACHINING A PATTERN USING THE SAME

국부화 아노다이징 공정을 이용한 미세패턴 가공 시스템 및 이를 이용한 미세패턴 가공 방법에서, 상기 미세패턴 가공 시스템은 전원 공급부, 공구부, 공구 가공부, 기판부, 펄스 공급부 및 스테이지부를 포함한다. 상기 공구부는 상기 전원 공급부의 음극(-)에 전기적으로 연결된다. 상기 공구 가공부는 상기 전원 공급부의 양극(+)에 전기적으로 연결되어 상기 공구부의 형상을 가공한다. 상기 기판부는 상기 전원 공급부의 양극(+)에 전기적으로 연결되어 상기 공구부에 의해 가공된다. 상기 펄스 공급부는 상기 공구 가공부 및 상기 기판부에 공급...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	JEE, WON YOUNG, CHU, CHONG NAM, KIM, JANG GIL, CHEONG, HYEONG GYUN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	APPARATUS THEREFOR CHEMISTRY ELECTROFORMING ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES METALLURGY PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTIONOF COATINGS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	국부화 아노다이징 공정을 이용한 미세패턴 가공 시스템 및 이를 이용한 미세패턴 가공 방법에서, 상기 미세패턴 가공 시스템은 전원 공급부, 공구부, 공구 가공부, 기판부, 펄스 공급부 및 스테이지부를 포함한다. 상기 공구부는 상기 전원 공급부의 음극(-)에 전기적으로 연결된다. 상기 공구 가공부는 상기 전원 공급부의 양극(+)에 전기적으로 연결되어 상기 공구부의 형상을 가공한다. 상기 기판부는 상기 전원 공급부의 양극(+)에 전기적으로 연결되어 상기 공구부에 의해 가공된다. 상기 펄스 공급부는 상기 공구 가공부 및 상기 기판부에 공급되는 전원에 펄스를 인가한다. 상기 스테이지부는 상기 공구부, 상기 공구 가공부 및 상기 기판부를 이송한다.