A pipe connecting apparatus for semiconductor equipment

An objective of the present invention is to easily and efficiently connect pipes having straight ends and seal a connection portion to prevent a leakage of harmful gas. A pipe connecting apparatus for semiconductor equipment is applied to semiconductor equipment to connect ends of pipes to transport a fluid, and comprises: a hollow connection pipe having a connection end on one end thereof to be forcibly inserted into a straight end of a pipe to be coupled, and a flange extended outwards from the other end thereof to fit a flange of a different pipe; a hollow pipe connection pipe forcibly inserted and coupled to an outer side of the connection pipe to accommodate the end of the pipe; and a binding ring which is coupled to the end of the connection pipe, and has a hollow through hole therein to accommodate the end of the pipe while being penetrated by the end of the pipe, and a plurality of nut holes penetrated inwards from the outside to allow fixing bolts to be screwed and coupled thereto to be fixed on the end of the pipe. A binding flange is formed on the connection pipe and extended outwards. The pipe connecting apparatus for semiconductor equipment further comprises a clamp to bind the binding flange and the flange of the different pipe. 본 발명은, 직선단부를 가지는 배관들의 연결을 용이하고 원활하게 함은 물론, 연결부위가 밀폐되도록 함으로써, 유해가스가 누출되지 않도록; 반도체설비에 적용되어 유체를 이송하도록 된 배관들의 단부를 연결하도록 된 반도체설비용 배관의 연결장치에 있어서; 일단부에 상기 배관의 직선단부의 내측으로 억지 끼움하여 결합되는 접속단부를 가지며, 타 단부에는 타 배관의 플랜지와 맞춤되게 대변하도록 외측방향으로 연장형성된 플랜지부를 가지는 중공된 접속관과; 상기 접속관의 외측으로 억지 끼움 결합하되 내측에 상기 배관의 단부가 수용되도록 중공관 연결관과; 상기 연결관의 단부에 체결되며 내부에 상기 배관의 단부가 관통되면서 수용되도록 중공된 관통공을 가지며, 외측에서 내측으로 관통형성된 다수의 너트공이 형성되어 고정볼트들이 각각 나사결합하여 상기 배관의 단부에 고정되도록 된 결속링을 포함하여 이루어지되; 상기한 연결관에는, 외측방향으로 연장형성된 결속플랜지부가 형성되며; 상기 결속플랜지부와 상기 타 배관의 플랜지를 결속하는 클램프를 더 포함하여 이루어지는 반도체설비용 배관의 연결장치를 제공한다.