OPTICAL SURFACE MEASURING METHOD AND APPARATUS USING DEFORMABLE MIRROR

The present invention relates to a method and a device to measure a shape of a non-spherical optical surface including a free-form surface, comprising: a collimation light source forming a light wave front without distortion; a beam splitter which partially reflects the light wave front created from the collimation light source while partially transmitting the same; a deformable mirror which deforms the light wave front reflected from the beam splitter in order to correspond to a shape of the measured optical surface; a lens which diverges the wave front if the shape of the measured optical surface is concave, and which converges the wave front if the shape of the measured optical surface is convex; a wave front sensor which receives an incidental wave front reflected from the measured optical surface to measure a remaining wave front error; and a control part connected to the deformable mirror which controls deformation of the reflecting face of the deformable mirror in order to correspond to the measured optical surface as measured in the optical surface, ultimately adding the remaining wave front error measured from the wave front sensor to the deformable information of deformable mirror, thus calculating the shape of the measured optical surface. The device is capable of performing real-time measurement, and is free from nuisance which stems from the fact that a new optical device should be manufactured every time a new non-spherical optical surface is being measured. 본 발명은 자유곡면을 포함한 비구면 광학면의 형상을 측정하기 위해 변형거울을 이용한 광학면 측정 방법 및 장치에 관한 것으로서, 왜곡없는 광파면을 형성하는 시준광원; 상기 시준광원으로부터 생성된 광파면의 일부는 반사시키고 일부는 투과시키는 빔스플리터; 상기 빔스프리터에 의해 반사된 광파면을 측정 광학면의 형상에 대응하도록 파면을 변형시키는 변형거울; 상기 측정 광학면의 형상이 오목할 경우에는 파면을 발산시키고 볼록할 경우에는 파면을 수렴시키기 위한 렌즈; 측정 광학면에서 반사되어 입사되는 파면을 수신하여 잔여 파면오차를 측정하는 파면센서; 및 상기 변형거울과 연결되고 상기 측정 광학면으로부터 측정된 광학면에 대응하도록 상기 변형거울 반사면의 변형을 제어하고, 상기 파면센서로부터 측정된 잔여 파면오차를 변형거울 변형정보에 가산하여 상기 측정 광학면의 형태를 계산하는 제어부;를 포함하여 구성되어 실시간으로 측정이 가능하며 새로운 비구면 광학면 측정시 마다 측정용 광학소자를 제작해야 하는 번거로움을 없앤 효과가 있다.