MEASUREMENT METHOD OF AVERAGE MOLECULAR WEIGHT OF POLYMERIC SUPPRESSOR IN PLATION SOULTION

According to an embodiment of the present invention, a measurement method of an average molecular weight of a suppressor in a plating solution comprises: a step (step 1) of preparing a basic plating solution, and including a suppressor whose molecular weight is known in the basic plating solution; a...

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Hauptverfasser: KIM, JAE JEONG, KIM, HOE CHUL, CHOE, SEUNG HOE
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:According to an embodiment of the present invention, a measurement method of an average molecular weight of a suppressor in a plating solution comprises: a step (step 1) of preparing a basic plating solution, and including a suppressor whose molecular weight is known in the basic plating solution; a step (step2) of deriving a QR-QF value in accordance with a suppressor concentration of the basic plating solution by cyclic voltammetry; a step (step3) of preparing a basic plating solution including a suppressor of a different molecular weight in step 1 and performing step 2; a step (step 4) of repeating step 3 multiple times to derive a black curve showing a maximum QR-QF value in accordance with a suppressor concentration; and a step (step 5) of sequentially adding a measurement plating solution including a suppressor whose molecular weight is to be measured in the basic plating solution of step 1 by a specific volume by cyclic voltammetry to derive a maximum QR-QF value and compare the maximum QR-QF with the black curve to measure an average molecular weight of the suppressor of the measurement plating solution. The QR-QF (is a plating amount in a return sweep-a plating amount in a forward sweep) in the cyclic voltammetry. 본 발명의 일 실시예는 기본 도금액을 준비하고, 상기 기본 도금액에 분자량을 알고 있는 감속제를 포함시키는 단계(단계 1); 순환전압전류법(Cyclic Voltammetry)을 통해, 상기 기본 도금액의 감속제 농도에 따라 Q-Q값을 도출하는 단계(단계 2); 상기 단계 1에서 또 다른 분자량의 감속제를 포함하는 기본 도금액을 준비하고 상기 단계 2를 수행하는 단계(단계 3); 상기 단계 3을 복수 회 반복하여, 감속제 분자량에 따른 최대 Q-Q값을 도시하는 검정곡선을 도출하는 단계(단계 4); 및 순환전압전류법을 통해, 분자량을 측정하고자 하는 감속제를 포함하는 측정 도금액을 상기 단계 1의 기본 도금액에 특정 부피만큼 순차적으로 첨가함에 따라 최대 Q-Q값을 도출하고, 상기 검정곡선과 비교하여 상기 측정 도금액의 감속제 분자량을 측정하는 단계(단계 5);를 포함하는, 도금액 내 감속제의 평균 분자량 측정방법을 제공하며, 상기 Q-Q는 순환전압전류법에서 (역방향 주사(return sweep)에서 도금량-정방향 주사(forward sweep)에서 도금량)이다.