Mirror of a ring laser gyroscope

The present invention relates to a mirror for a ring laser gyroscope and, more specifically, to a mirror for a ring laser gyroscope which prevents damage to a mirror surface by plasma and ultraviolet radiation by optical coating. The mirror for a ring laser gyroscope comprises: a first reflection fi...

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Hauptverfasser: KIM, JONG SUP, HAN, JEONG YOUP, KIM, YOUNG MIN, LEE, YOUNG WOO
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:The present invention relates to a mirror for a ring laser gyroscope and, more specifically, to a mirror for a ring laser gyroscope which prevents damage to a mirror surface by plasma and ultraviolet radiation by optical coating. The mirror for a ring laser gyroscope comprises: a first reflection film (200) formed on one surface of a substrate (100) by alternately and sequentially depositing a tantalum oxide layer (210) and a silica layer (220) which are formed in an optical thickness of one fourth of a wavelength () of incident light of a gyroscope and have different refractive indices; and a second reflection film (300) deposited on an outermost surface of the first reflection film (200) and made of a material durable against plasma active ions to block ultraviolet radiation to protect a surface. The first reflection film (200) is designed to reflect a wavelength of a band of 600-800 nm, and the second reflection film (300) is designed to reflect a wavelength of a band of 200-350 nm. The second reflection film (300) consists of an alternate layer wherein a zirconium oxide (ZrO2) layer and an aluminum oxide (Al2O3) layer are alternately formed. The zirconium oxide (ZrO2) layer and the aluminum oxide (Al2O3) layer are formed in an optical thickness of (0.4 ~ 0.43)/4 of the wavelength () of incident light. An aluminum oxide (Al2O3) layer with an optical thickness of (0.8 ~ 0.86)/4 is formed on an outermost portion of the second reflection film (300) to have an optical thickness which is two times thicker than each layer making up the second reflection film. 본 발명은 링 레이저 자이로스코프용 미러에 관한 것으로, 광학코팅을 통해 플라즈마 및 자외선에 의한 미러 표면의 손상을 방지하도록 한 링 레이저 자이로스코프용 미러에 관한 것이다.본 발명의 구성은, 기판(100)의 일면에는 자이로스코프 입사광 파장(λ)의 1/4의 광학두께로 형성되고 서로 다른 굴절률을 갖는 산화탄탈륨 층(210) 및 실리카 층(220)을 교대로 순차적으로 증착하여 제1반사막(200)을 형성하고, 상기 제1반사막(200)의 최외면에는 플라즈마 활성이온에 대한 내구성이 높은 소재로 자외선을 차단하여 표면을 보호하도록 제2반사막(300)을 증착하여 형성한 링 레이저 자이로스코프용 미러에 있어서, 상기 제1반사막(200)은 600~800nm 대역의 파장을 반사하도록 설계되고, 상기 제2반사막(300)은 200~350nm 대역의 파장을 반사하도록 설계되며, 상기 제2반사막(300)은 산화지르코늄(ZrO2)층과 산화알루미늄(Al2O3)층이 교호적으로 구성된 교호층으로 이루어지고, 상기 산화지르코늄(ZrO2)층과 산화알루미늄(Al2O3)층은 입사광 파장(λ)의 (0.4 ~ 0.43)/4의 광학두께로 형성되며, 상기 제2반사막(300)의 최외곽은 제2반사막을 이루는 각 층보다 2배의 광학두께를 갖도록 (0.8 ~ 0.86)/4의 광학두께로 산화알루미늄(Al2O3)층이 형성된 것을 특징으로 한다.