MEMBRANE SYSTEM FOR SILICON WAFER PRODUCTION WASTEWATER REUSE

The present invention relates to a system for reusing wastewater to process a silicon wafer by using a membrane, and more specifically, to a system for reusing wastewater in order to process a silicon wafer using a membrane, which treats wastewater containing high-concentration silicon solids and generated in ingot cutting and backgrinding processes of a silicon wafer widely used in semiconductor and solar cell industries, using a tubular type membrane filer (TTMF) (0.1 um), by separating and concentrating silicon particles of the wastewater, and processing clear treated water, from which the high-concentration silicon solids are removed, into purer process water, using an RO membrane system provided on the rear end of the system, thereby reusing the process water in a wafer wastewater storage tank. The system for reusing wastewater to process a silicon wafer by using a membrane includes a wafer wastewater storage tank, a TTMP feed pump, a TTMF filtration membrane, a TTMF treated water storage tank, a TTMF CIP unit, an RO membrane feed pump, a variable cartridge filter, an RO membrane high-pressure pump, an RO membrane unit, an RO membrane CIP system, an RO membrane treated water storage tank, and a ultra-pure water manufacturing facility. 본 발명은 분리막을 이용한 실리콘 웨이퍼 가공 폐수 재이용 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 및 태양전지산업에 널리 사용되는 실리콘 웨이퍼의 잉곳 절단, 백그라인딩 가공 공정에서 발생하는 고농도 실리콘 고형물 함유 폐수를 TTMF(Tubular Type Membrane Filer(o.1um))을 이용하여 실리콘 파티클은 분리 농축하고 고형물이 제거된 깨끗한 처리수는 후단 RO 멤브레인 시스템을 이용하여 더욱 순수한 공정수로 생산하여 가공 공정에 재이용할 수 있도록 웨이퍼 폐수 저장조, TTMP 피드 펌프, TTMF 여과막, TTMF 처리수 저장조, TTMF CIP 유닛, RO 멤브레인 피드 펌프, 가변형 카트리지 필터, RO 멤브레인 고압펌프, RO 멤브레인 유닛, RO 멤브레인 CIP 시스템, RO 멤브레인 처리수 저장조, 초순수 제조시설, 공정수 재이용으로 구성되는 분리막을 이용한 실리콘 웨이퍼 가공 폐수 재이용 시스템에 관한 것이다.