APPARATUS FOR MANUFACTURING REPLICA STAMP AND METHOD FOR MANUFACTURING REPLICA STAMP

The present invention provides an apparatus for manufacturing a replica stamp having a pressure member to accurately form a pattern, and a method for manufacturing a replica stamp using a pressure member. The apparatus for manufacturing a replica stamp according to an aspect of the present invention...

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Hauptverfasser: SHIN, HONG SOO, DO, HYUN JUNG
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:The present invention provides an apparatus for manufacturing a replica stamp having a pressure member to accurately form a pattern, and a method for manufacturing a replica stamp using a pressure member. The apparatus for manufacturing a replica stamp according to an aspect of the present invention includes a stamp support unit for mounting a stamp, a substrate support unit which is separated from the stamp support unit and is to mount the substrate, and a pressure member which pressurizes the substrate to the stamp. The pressure member includes a support frame and a membrane which is combined with a support frame and has elasticity. In the support frame, a gas injection pipe for injecting a gas between the support frame and the membrane is connected to a gas discharge pipe for discharging a gas injected between the support frame and the membrane. 본 발명은 정밀하게 패턴을 형성할 수 있는 가압부재를 갖는 복제 스탬프 제작 장치 및 가압부재를 이용한 복제 스탬프 제작 방법을 제공한다. 본 발명의 일 측면에 따른 복제 스탬프 제작 장치는 스탬프가 장착되는 스탬프 지지대, 상기 스탬프 지지대에서 이격 배치되며 기판이 장착되는 기판 지지대, 상기 기판을 상기 스탬프에 가압하는 가압부재를 포함하고, 상기 가압부재는 지지 프레임과 상기 지지 프레임에 결합되며 탄성을 갖는 멤브레인을 포함하고, 상기 지지 프레임에는 지지 프레임과 멤브레인 사이로 기체를 주입하는 가스 주입관과 상기 지지 프레임과 멤브레인 사이로 주입된 기체를 배출시키는 가스 배출관이 연결 설치되어 있다.