APPARATUS FOR TOOL POSITION MEASUREMENT

The present invention relates to an apparatus for measuring the position of a tool fixed on a tool holder in order to form a fine pattern on a workpiece. The present invention provides a tool position measurement apparatus including: a laser sensor which irradiates a laser beam as to a tool for pattern forming, and detects the laser beam reflected from the tool; a comparison part for outputting a control signal by comparing the laser beam irradiated from the laser sensor with the laser beam detected by the laser sensor; a movement part which is arranged with the laser sensor, and moves on X, Y and Z axes at a reference position according to the control signal of the comparison part; and a position measurement part for measuring the position of the tool for pattern forming using a movement value of the movement part. The present invention can measure the position of a tool for pattern forming using a laser beam, after installing the tool for pattern forming to form fine patterns on the tool holder. 본 발명은, 작업 대상물 상에 미세 패턴을 형성하기 위하여 공구 홀더 상에 고정되는 공구의 위치를 측정하는 장치로서, 패턴 형성용 공구에 대하여 레이저를 조사하고 상기 공구에서 반사된 상기 레이저를 수광하는 레이저 센서; 상기 레이저 센서에서 조사된 레이저와 수광된 상기 레이저를 비교하여 이에 해당하는 제어 신호를 출력하는 비교부; 상기 레이저 센서가 배치되고 상기 비교부의 제어 신호에 따라 기준 위치에서 X, Y, Z 축 상으로 이동하는 이동부; 및 상기 이동부의 이동값을 이용하여 상기 패턴 형성용 공구의 위치를 측정하는 위치 측정부; 를 포함하는 공구 위치 측정 장치를 제공한다. 본 발명은, 미세 패턴 형성을 위해 패턴 형성용 공구를 공구 홀더 상에 장착한 후, 레이저를 이용하여 패턴 형성용 공구의 위치를 측정할 수 있다.