FABRICATION METHOD FOR HEATING SUBSTRATE AND THE HEATING SUBSTRATE THEREBY

The present invention provides a manufacturing method of a heating substrate comprising the following steps: (1) forming a perfluorine polymer pattern of the upper side of a substrate; (2) spreading a nanomaterial including a carbon nano tube and an auxiliary material including at least one selected from a group composed of a conductive polymer, a carbon nanoplate, a metal nanowire, a metal particle, a ceramic particle, a graphene, and a grapheme oxide, on the substrate wherein the pattern is formed in the step (1); and (3) removing the perfluorine polymer pattern formed on the substrate of the step (2). When a nanomaterial pattern including the carbon nanotube is manufactured in a lift-off method, the manufacturing method of the heating substrate according to the present invention does not have a problem for a chemical reaction of a solvent used for spreading a nanomaterial such as a photoresist, the carbon nanotube, etc. due to using a perfluorine polymer, and can easily remove the perfluorine polymer pattern. Thus, the performance as the heating substrate is excellent since a pattern including the substrate and the carbon nanotube is not damaged. 본 발명은 기판 상부에 과불소 중합체 패턴을 형성하는 단계(단계 1); 상기 단계 1에서 패턴이 형성된 기판에 탄소 나노 튜브를 포함하는 나노 물질; 및 전도성 고분자, 탄소 나노 플레이트, 금속 나노 와이어, 금속 입자, 세라믹 입자, 그래핀 및 산화 그래핀으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1 종 이상을 포함하는 보조 물질;을 도포하는 단계(단계 2); 상기 단계 2의 기판에 형성된 과불소 중합체 패턴을 제거하는 단계(단계 3);를 포함하는 발열 기판의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 발열 기판의 제조방법은 리프트-오프 방법으로 탄소 나노 튜브를 포함하는 나노 물질 패턴을 제조함에 있어서, 과불소 중합체를 사용하기 때문에 포토레지스트와 탄소 나노 튜브 등의 나노 물질을 도포할 때 사용되는 용매의 화학적 반응에 대한 문제가 없으며, 과불소 중합체 패턴을 제거하는 것이 용이한 효과가 있다. 이와 같이, 기판 및 탄소 나노 튜브를 포함하는 패턴에 손상을 가하지 않기 때문에 발열 기판으로서의 성능이 우수한 효과가 있다.