TRANSFER ROBOT HAVING MOVABLE ROBOT HAND

The present invention relates to a conveying robot including variable robot hands. The conveying robot operates six to eight robot arms individually, and loads and draws out the conveyed objects such as the substrates and wafers loaded on an upper and lower parts in a predetermined pitch unit at the same time using the robot arms. According to the present invention, the conveying robot comprises: a plurality of robot arms; a slider mounted on the robot arms to move to a front and a rear side in a reciprocating motion; a bridge connected to a slider, having a location variable block formed thereon; and robot hands mounted on the location variable block, moving in a horizontal and reciprocating motion within a predetermined range. Accordingly, the conveying robot is able to move individually the conveyed objects or at the same time, include a fast process flow by moving individually the conveyed objects or at the same time in the process continued in one direction or in an in-line process; and increases the process efficiency by reducing a process time. 본 발명은 가변 로봇핸드를 구비한 반송 로봇에 관한 것으로, 특히 6개 혹은 8개의 로봇 암의 개별 구동이 가능하며, 일정한 피치 단위로 상하 적재되는 반송물(기판 또는 웨이퍼 등)의 동시 적재 및 취출이 가능한 가변 로봇핸드를 구비한 반송 로봇에 관한 것이다. 본 발명에 따른, 가변 로봇핸드를 구비한 반송 로봇은, 복수의 로봇암, 복수의 로봇암에 장착되어 전후 직선 운동을 하는 슬라이더, 슬라이더에 연결되고, 위치 가변 블록이 형성되는 브릿지, 및 위치 가변 블록에 장착되고, 소정 범위 내에서 수평 왕복 운동을 하는 로봇핸드를 포함한다. 이에 따라, 반송물의 동시 또는 개별적 반송이 가능하고, 인라인(In-Line) 공정 및 일방향으로 연속되는 공정에서 다수의 반송물을 개별 이송 또는 동시 이송으로 빠른 공정 흐름을 유도하고, 공정시간을 단축하여 공정 효율을 높일 수 있게 된다.