MANUFACTURING METHOD OF FEED-THROUGH

The present invention relates to a method for manufacturing a feed-through. The present invention includes a first stop of forming a cylindrical base by mixing elements from a group of Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, and AlF3, a second stop of forming a combination hole, a third step of forming an insulation layer, a fourth step of forming a plurality of combination holes, and a fifth step of forming a receiving groove and an O-ring in the inner side of the receiving groove to prevent the pressure of a vacuum chamber or a high pressure chamber from being leaked to the outside. 본 발명은 피드스루의 제조방법에 관한 것으로 세라믹재인 Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로 이루어진 군에서 1종 또는 2종 이상이 각각 혼합 형성되어 이루어지며, 원통형으로 형성되는 베이스가 구비되는 제1단계와, 상기 베이스의 외주면에 도전성 재질인 텅스텐, 몰리브덴, 티탄, 구리, 은으로 이루어진 군에서 어느 1종 또는 2종 이상이 각각 혼합되어 용사 코팅 방식, 실크스크린 인쇄 방식 또는 잉크젯 인쇄 방식 중 어느 선택된 하나의 방식으로 방사상으로 서로 이격된 다수개의 전극을 형성함과 아울러 상기 전극 각각의 양측에는 도전성 재질인 텅스텐, 몰리브덴, 티탄, 구리, 은으로 이루어진 군에서 어느 1종 또는 2종 이상이 각각 혼합되어 형성되는 원판형의 접지부가 절연층의 내측에 인입되어 구비되며, 각각의 접지부 및 전극 양측에는 접지부를 관통함과 아울러 전극의 양내측으로 인입되는 결속공을 형성하는 제2단계와, 상기 베이스 및 다수개의 전극 외주면을 감싸도록 비정질상의 세라믹재인 Al2O3, Y2O3, Al2O3/Y2O3, ZrO2, AlC, TiN, AlN, TiC, MgO, CaO, CeO2, TiO2, BN, SiO2, SiC, YAG, Mullite, AlF3로 이루어진 군에서 1종 또는 2종 이상이 각각 혼합되어 용사 코팅 방식, 실크스크린 인쇄 방식 또는 잉크젯 인쇄 방식 중 어느 선택된 하나의 방식으로 절연층을 형성하는 제3단계와, 상기 절연층의 외측에서 이격된 내측에 전방에서 후방으로 관통된 다수개의 결합공을 형성하는 제4단계와, 상기 절연층의 전방에 다수개의 전극 외측으로 이격되어 원형으로 내입되는 안착홈을 형성함과 아울러 안착홈의 내측에는 진공 챔버 또는 고압 챔버 내부의 압력이 외부로 새어나가지 않도록 하는 오링이 구비되는 제5단계로 이루어진다.