METHOD FOR MANUFACTURING FIELD OXIDATION FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KIM, JONG CHOL, YO, IN SOG, JANG, SE OG, KIM, YONG BOG
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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